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六自由位移台
简要描述:

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-06-26
  • 访  问  量:24
  • 产品简介


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规格

XY

θXθY

Z

θZ

有效行程

±50mm

±3deg

±50mm

±5deg

电机类型

直线电机

直线电机

直线电机

直驱电机

光栅分辨率

4.88nm1vpp

4.88nm1vpp

4.88nm1vpp

0.04sec

最小步长

100nm

0.3sec

100nm

0.1sec

重复定位精度

±0.2um

±1sec

±0.3um

±1sec

定位精度

±1um

-

±1um

±5sec

速度

100mm/s

30deg/sec

15mm/s

4rps

负载

水平负载10kg,垂直使用负载请联系厂家沟通

质量

整机重量20kg


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