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【产品特点】
■为单轴,超高精度直线平台;
■配备高精度光栅,分辨率达0.1um;
■采用大理石底座,平台平面度好、长行程、大负载;
■应用于:电子加工,半导体加工等行业。
【产品二维图及选型参数】
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